ITO/Si(n)异质结构的侧向光伏效应研究

• 作者: 乔双 傅广生 刘亚男 王凌云 王淑芳
• 来源期刊: 中国科学（物理学 力学 天文学）
• 关键词: ITO/Si(n) 侧向光伏效应 灵敏度 薄膜厚度
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 88-94
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/SSPMA2016-00479

摘要

本文报道了由磁控溅射技术在n型单晶Si衬底上制备不同厚度ITO异质结构的侧向光伏效应.通过不同波长和不同功率激光照射下侧向光电压的研究发现,ITO/Si(n)异质结构的位置灵敏度随着激光功率和波长增加而增大,该结果归因于光激发电子-空穴对的数量在相同波长下正比于激光功率,并且在相同功率下正比于激光波长;另外,侧向光伏效应强烈依赖于ITO薄膜的厚度,随着薄膜厚度的增加,侧向光电压和非线性度均呈指数下降,这主要是由于ITO薄膜电阻率减小诱导的表面扩散长度增加所致,我们的研究结果表明,通过合理控制ITO薄膜厚度可以得到灵敏度较高且线性度较好的侧向光电压,有望实现ITO/Si(n)异质结构在位置灵敏探测器领域的潜在应用.