用于低温多晶硅制备的线光束整形系统

• 作者: 尹广玥 方晓东 游利兵 王庆胜 褚状状 陈亮
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 线光束整形 光束均匀性 准分子激光退火 低温多晶硅制备
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 光纤光学与光通信
• 页码范围: 179-189
• 页数: 11页
• 分类号: TN205
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0906002

摘要

设计了一套用于准分子激光低温多晶硅制备的线光束整形系统.系统中设置的光斑转换模块可使原始光束截面横纵倒置;利用扩束模块对原始光束的短轴进行准直,其扩束倍率可限定短轴光束尺寸,以配合短轴光束均匀模块的孔径;采用基于透镜阵列的长轴、短轴光束均匀模块可在提高光斑能量分布均匀性的同时,约束光斑尺寸;系统中设置了投影模块,可将光束投影于工件表面.为了实现系统中光学原件的精密定位,设计并加工了配套的机械调节结构;结合仿真实验,讨论了阵列单元的中心偏差及工作面的偏离对线光斑质量的影响.利用该线光束整形系统对自行研制的大能量准分子激光光源进行整形,实测的系统能量传递效率为33％,工件表面的光斑尺寸约为100 mm×0.3 mm,平均能量密度为470 mj.cm-2,长轴能量分布均匀度为93.95％,满足退火技术的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方晓东	中国科学院等离子体物理研究所	73	301	9.0	13.0
2	陈亮	中国科学院等离子体物理研究所	122	1011	16.0	27.0
3	游利兵	中国科学院等离子体物理研究所	26	135	8.0	10.0
4	尹广玥	中国科学院等离子体物理研究所	7	19	3.0	4.0
5	王庆胜	中国科学院等离子体物理研究所	10	44	5.0	6.0
6	褚状状	中国科学院等离子体物理研究所	3	9	2.0	3.0