薄膜体声波谐振器的伽马辐照敏感机理分析

• 作者: 吕军光 王宇航 韩宾 高杨
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器 伽马辐照 频率偏移 空间电荷层电容
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 67-72
• 页数: 6页
• 分类号: TN65|TL818.4
• 字数: 2030字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201729.170007

摘要

实验证明薄膜体声波谐振器(FBAR)用于检测伽马辐照是可行的,但未对敏感机理进行深入研究.针对这一问题,根据两种不同的FBAR结构,提出了不同机理来解释FBAR在伽马辐照下谐振频率偏移的原因.其中结构一FBAR为四层叠层结构(金属层-压电层-氧化层-金属层),伽马辐照之后,会在辐照敏感层(氧化层)形成一个电压,相当于给压电层施加了一个直流电压,从而使谐振频率发生偏移;结构二与结构一不同的是,结构二FBAR在氧化层和压电层之间有一半导体层,辐照之后在氧化层中形成的电压改变了半导体的表面势,使半导体空间电荷层电容发生改变,从而改变谐振频率.通过仿真得到两种不同机理的结果,并与相关文献的测试结果对比,发现频率偏移的趋势和频率偏移量的数量级是相同的,因此提出来的两种机理是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	韩宾	西南科技大学信息工程学院	49	226	10.0	13.0
3	吕军光	中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室	14	61	4.0	7.0
4	王宇航	西南科技大学信息工程学院	5	10	2.0	3.0