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纳米级精度的竖直液体静压滑台设计
纳米级精度的竖直液体静压滑台设计
作者:
李蓓智
杨建国
董婉娇
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
液体静压滑台
超精密竖直滑台
不等流量结构
精度测试
摘要:
为了满足航天关键件的加工精度要求,需要设计并制造满足设计要求的纳米级精度的竖直液体静压滑台.本文针对滑台结构、关键部件及公差设计方法展开了研究.首先,根据高精度竖直滑台的设计要求,采用不等流量的滑块结构及控制方法整体设计滑台结构.设计时,将所有液压油管路均设置在滑块中,以减小油压损耗,且使得滑台结构紧凑.接着,为使圆孔加工时圆度误差不受导轨刚度的影响,采用等导轨刚度的设计方法,同时给出了该方法下油膜厚度、刚度、压力的计算方法.文中还证明了上下油腔不等承载面积法能够降低竖直滑台由于倾覆力矩产生的倾角误差,提高导轨运动精度.在此基础上,提出了基于不等流量结构的几何精度设计方法,计算并证明了不等流量的结构和控制方法可以降低导轨和滑块极高的制造等级要求和制造成本.最后,根据上述设计方法设计并制造了数控纳米曲面磨床竖直滑台,并测试了该磨床竖直Z滑台的运动精度.结果显示采用不等流量结构的滑台制造公差要求由IT1降低到IT3.Z滑台精度测试结果为:定位误差为±80nm,重复定位误差为48nm.
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文献信息
篇名
纳米级精度的竖直液体静压滑台设计
来源期刊
光学精密工程
学科
工学
关键词
液体静压滑台
超精密竖直滑台
不等流量结构
精度测试
年,卷(期)
2017,(8)
所属期刊栏目
微纳技术与精密机械
研究方向
页码范围
2121-2129
页数
9页
分类号
TH122|TH123|TH161
字数
4637字
语种
中文
DOI
10.3788/OPE.20172508.2121
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
杨建国
东华大学机械工程学院
263
2002
20.0
30.0
2
李蓓智
东华大学机械工程学院
172
1267
18.0
24.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
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共引文献
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参考文献
(10)
节点文献
引证文献
(1)
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超精密竖直滑台
不等流量结构
精度测试
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
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