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蓝宝石衬底铜抛实验研究
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摘要：
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蓝宝石衬底铜抛-CMP加工技术
蓝宝石衬底
化学机械抛光
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磁控反应溅射
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蓝宝石衬底上PECVD生长石墨烯及其气敏传感器
石墨烯
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内江科技
主办单位：
四川省内江市科技情报研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1006-1436
CN：
51-1185/T
开本：
大16开
出版地：
四川省内江市
邮发代号：
创刊时间：
1980
语种：
chi
出版文献量（篇）
24629
总下载数（次）
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