现代微纳米半导体加工工艺浅析

• 作者: 张靖卓
• 来源期刊: 电子世界
• 关键词: 半导体 微纳米 光刻
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 探索与观察
• 页码范围: 17,20
• 页数: 2页
• 字数: 3122字
• 语种: 中文

摘要

本文从微电子技术产生的背景、过程展开,主要介绍了现代主流的微纳米级半导体材料的加工工艺;介绍了目前微纳米半导体加工工艺存在的局限性和问题;根据前沿技术与在该领域已取得的重要成果介绍了现代微纳米半导体加工工艺未来的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张靖卓		1	1	1.0	1.0