不同过渡层对PMMA基底沉积ZAO薄膜特性的影响

• 作者: 孔林涛 武永鑫 郭婷婷 郭慧梅
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: ZAO薄膜 过渡层 电阻率 透过率 附着力
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 1204-1208
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3280字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.01.037

摘要

采用磁控溅射技术,分别使用SiO2、SiON、Al2 O3、AlON作为过渡层,在有机玻璃(PMMA)基底上制备了ZAO薄膜.利用紫外-可见光谱仪、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和划痕仪对不同过渡层上制备的ZAO膜层的光电特性、薄膜结构、表面形貌及附着力进行了研究.结果表明,不同的过渡层对400～800 nm波长范围内的光的透过率影响不大,在不同过渡层上制备的ZAO薄膜均展现了c轴择优取向.过渡层的添加不仅提高了ZAO薄膜的表面粗糙度和电阻,而且进一步提升了ZAO薄膜与PMMA基底的附着力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭慧梅	天津科技大学理学院	4	9	2.0	2.0
2	武永鑫	中国大唐集团科学技术研究院有限公司新能源技术研究所	5	5	1.0	2.0
3	孔林涛	天津科技大学理学院	15	26	3.0	4.0
4	郭婷婷	天津科技大学理学院	2	1	1.0	1.0