双位组合四探针法与常规四探针法的对比研究

• 作者: 王倩
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 电阻率 厚度修正 四探针法
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 测试与测量
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TN606
• 字数: 1921字
• 语种: 中文

摘要

论述了用四探针法测量半导体片电阻率的基本原理及优缺点.在常规四探针法的缺点是:所使用的探针头的探针间距应相等,对探针的游移率要求严格;材料的几何尺寸与探针间距相比应满足半无穷大.当上述条件不能满足,我们可以使用双位组合四探针法进行测量.我们对双位四探针法与常规四探针法进行了对比分析,并探讨了产生不同结果的根源.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王倩	中国电子科技集团公司第四十六研究所	6	2	1.0	1.0