四探针法测试半导体掺杂浓度的实验研究

• 作者: 李昕 牛立刚 王蕊 纪永成 贺媛 郭文滨
• 来源期刊: 吉林大学学报（信息科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 四探针测量法 电阻率 掺杂浓度
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 电子科学与工程
• 页码范围: 507-511
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2301字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5896.2019.05.008

摘要

为了解决半导体掺杂浓度的测试问题,需要采用简单易行的方法对半导体进行测试.在微电子技术领域,四探针技术一直是测量电阻率的常用方法.结合吉林大学在半导体器件物理与实验精品课程的建设,以训练学生对半导体物理学专业知识的理解和掌握,笔者对四探针法测试半导体掺杂浓度进行了实验研究.通过建立半无限大和无限薄层两个理论模型,对不同厚度半导体材料的电阻率测试方法进行了实验研究,并对原理进行了讨论.为了解决商用测试设备昂贵且无法满足实验教学需求的问题,笔者提出自制实验测试装置,采用钨合金的简易手动探针台,并根据实验需要自行设计了四探针测试架.实践应用表明:四探针测试系统的建立可以完成测量半导体掺杂浓度的任务,满足了半导体物理实验的教学需求,取得了较好的教学效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭文滨	吉林大学电子科学与工程学院	18	38	3.0	5.0
2	李昕	吉林大学电子科学与工程学院	37	121	7.0	10.0
3	贺媛	吉林大学电子科学与工程学院	9	5	1.0	2.0
4	王蕊	吉林大学电子科学与工程学院	26	104	5.0	10.0
5	牛立刚	吉林大学电子科学与工程学院	15	34	3.0	5.0
6	纪永成	吉林大学电子科学与工程学院	11	5	1.0	2.0