利用探针法研究二次电子发射过程中介质材料的表面电位

• 作者: 刘婉 曹猛 殷明 王芳 翁明
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 二次电子发射 表面电位测量 介质材料 仿真
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 163-168
• 页数: 6页
• 分类号: O462|TN16
• 语种: 中文
• DOI: 10.7652/xjtuxb201901022

摘要

为研究介质材料二次电子发射过程中表面电位的测量手段及相关规律,以拒斥场会影响二次电子出射为基础,提出了能够原位测量介质材料表面电位的探针法.首先,利用专业电磁仿真软件对探针法原理进行了研究,计算了探针附近电位分布和探针偏压对二次电子发射系数的影响曲线,此曲线拐点处对应的探针偏压即为样品的表面电位;其次,用铜样品进行了实验研究,验证了探针法测量样品表面电位的可行性;最后,将探针法应用于介质材料聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),对其表面电位进行了实验测量和研究.结果表明:栅网偏压和入射电子能量对PMMA表面电位有直接的影响,PMMA表面电位总是高于栅网偏压,两者呈线性关系;随着入射电子能量的增加,PMMA表面电位呈现先升高后下降的趋势.实验结果与理论分析相一致,验证了探针法测量介质材料表面电位的可行性.该方法操作简便、成本低廉,而且实现了原位在线测量,减小了实验中的不稳定性,对介质材料二次电子发射机理的研究有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁明	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	24	111	6.0	8.0
2	王芳	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	50	197	9.0	12.0
3	曹猛	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	25	109	6.0	9.0
4	殷明	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0
5	刘婉	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0