金属二次电子发射能谱的表面吸附势垒模型

• 作者: 张海波 曹猛 虞阳烨
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 二次电子发射 二次电子能谱 吸附 表面势垒 透射系数
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 页码范围: 97-102
• 页数: 6页
• 分类号: TN16|O462
• 语种: 中文
• DOI: 10.7652/xjtuxb201510016

摘要

为了改善加速器和高功率微波源中金属器壁的表面状况,采用数学建模并结合实验验证的方法,建立了二次电子能谱的吸附势垒模型.首先,以到达金属内表面二次电子为参考对象,分析金属壁的吸附过程,发现水蒸气吸附造成的能级扭曲会使金属表面势垒降低,由此建立了水吸附形态下的薛定谔方程,并求解得到吸附势垒的透射系数;然后,结合内二次电子能量分布建立吸附势垒模型,得到二次电子能谱特征参数与吸附量的定量关系.模型分析结果表明:吸附量的增加会引起表面势垒的降低,从而导致金属器壁二次电子发射增强,能谱变窄,加剧电子云效应;通过加热、氩离子清洗等手段可减少或去除加速器壁水蒸气吸附,抑制器壁表面二次电子发射.实验对比发现,离子清洗可减少吸附量,使Ag样品的吸附度从初始值0.5降至0,伴随能谱半峰宽从5.17 eV展宽至12.5 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海波	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	25	90	5.0	6.0
2	曹猛	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	25	109	6.0	9.0
3	虞阳烨	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	1	5	1.0	1.0