低真空SEM影响二次电子图像分辨率的研究

• 作者: 周广荣
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 低真空SEM 气体离子 电荷 分辨率
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: TP3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2008.04.014

摘要

低真空二次电子图像是在有空气存在的条件下对于没有事先处理过的样品拍摄得到的,小低真空气压一般能达到150MPa左右.当有气体存在时,样品发射出来的电子相互碰撞产生的离子和漂向样品表面的气体分子共同作用抑制电荷形成,因而可以更好地得到一些不能喷涂、不导电的一些样品的表面信息.本文从电子束能量、不同气压条件、电荷诱导等方面来研究低真空二次电子图像的分辨率.