碳化硅材料磨削技术基础研究

• 作者: 刘国敬 刘婷婷 刘宇光 贺东葛
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅材料 磨削技术 油石在线修整
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 34-35,73
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1338字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2018.02.008

摘要

为满足碳化硅材料的磨削要求,根据碳化硅材料的性能,研究了磨削工艺,并针对磨削中出现的技术难题,采取了油石在线修整的磨削工艺措施;试验结果表明使用树脂结合剂的金刚石砂轮和油石在线修整的磨削工艺,选择适合的磨削工艺参数可以达到对碳化硅材料磨削工艺要求,并取得了较好的实验效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘国敬	中国电子科技集团公司第四十五研究所	9	14	2.0	3.0
2	刘宇光	中国电子科技集团公司第四十五研究所	1	0	0.0	0.0
3	贺东葛	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	12	2.0	3.0
4	刘婷婷	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0