MEMS加速度计混合误差标定补偿方案

• 作者: 余跃 刘宇 路永乐 邸克 郭俊启
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS)加速度计 十二位置校准 最小二乘法 温度区间 动态误差补偿
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 589-593
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 字数: 2508字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.04.026

摘要

针对微机电系统(MEMS)加速度计在实际使用过程中存在非正交零偏误差和温度漂移误差的问题,提出了一种混合误差标定补偿算法.算法通过分析加速度计温度与误差的关系,在不同温度区间下建立加速度计输出的误差模型,在每个温度区间采用十二位置校准法对加速度计的非正交零偏误差进行标定补偿,得到精确的零偏和刻度因子,同时采用最小二乘法拟合零偏和刻度因子与温度的一维关系函数,最终实现不同温度区间下的动态误差补偿.实验结果表明,本算法可使加速度计输出的精度提高1个数量级,补偿效果明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘宇	重庆邮电大学光电信息感测与传输技术重庆市重点实验室	77	297	9.0	11.0
2	路永乐	重庆邮电大学光电信息感测与传输技术重庆市重点实验室	37	112	6.0	8.0
3	邸克	重庆邮电大学光电信息感测与传输技术重庆市重点实验室	11	24	3.0	4.0
4	余跃	重庆邮电大学光电信息感测与传输技术重庆市重点实验室	6	14	2.0	3.0
5	郭俊启	重庆邮电大学光电信息感测与传输技术重庆市重点实验室	11	22	2.0	4.0