氧含量对高功率脉冲磁控溅射AlCrSiON涂层高温摩擦学性能的影响

• 作者: 代伟 吴正涛 唐鹏 王启民 黎海旭
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: AlCrSiON涂层 高功率脉冲磁控溅射 力学性能 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 77-85
• 页数: 9页
• 分类号: TG174.444|TG115.58
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20171031001

摘要

由于真空度的要求,制备氮化物涂层时将不可避免的会有氧的存在,因此了解氧元素对涂层性能的影响至关重要.采用高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)技术在Ar/N2/O2混合气氛下制备AlCrSiON涂层,研究氧含量(0％～30.4％,原子数分数)对涂层结构、力学性能和摩擦学性能的影响及作用机制.结果表明,AlCrSiN涂层由fcc-CrN、β-Cr2N和hcp-AlN组成,AlCrSiON则由(Cr,Al)N、立方Cr2N和(Cr,Al)(O,N)组成.AlCrSiN涂层硬度为(14.3±1.8) GPa,随着氧含量增加至24.3％,涂层硬度增加至(20.1±3.0) GPa;继续增加氧含量则将导致涂层硬度下降.当环境温度由室温增加至400℃,涂层摩擦因数由0.6～0.7增加至0.9;温度升至800℃,涂层摩擦因数降至0.4.氧含量对涂层高温摩擦因数的影响较小,对涂层的磨损率却有着重要影响.当氧含量为30.4％时,AlCrSiON涂层具有最优耐磨损性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	代伟	广东工业大学机电工程学院	9	21	3.0	4.0
2	唐鹏	广东工业大学机电工程学院	9	17	2.0	4.0
3	王启民	广东工业大学机电工程学院	25	153	6.0	11.0
4	吴正涛	广东工业大学机电工程学院	7	17	3.0	3.0
5	黎海旭	广东工业大学机电工程学院	4	11	2.0	3.0