采用BCB平整技术的高速850nm垂直面发射激光器

• 作者: 何晓颖 何艳 吕本顺 李冲 栾信信 胡安琪 胡宗海 胡帅 董建 郭霞
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器 高速调制 苯并环丁烯平整技术
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 激光技术与应用
• 页码范围: 190-197
• 页数: 8页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1123字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20181102.0190

摘要

垂直腔面发射激光器因其具有低阈值、低功耗、可实现高速调制等优势,广泛地应用于光通信和光互连等领域.寄生电容是影响激光器的调制带宽的主要因素之一.本文通过采用低k值的苯并环丁烯(BCB)平整技术有效地降低了垂直腔面发射激光器的寄生电容.详细研究了BCB平整技术的最优工艺参数,为未来高速垂直腔面发射激光器的制造技术提供参考.低k值BCB平整垂直腔面发射激光器在7μm氧化孔径下3dB小信号调制带宽可达15.2GHz.