占空比对脉冲电弧离子镀AlCrSiN涂层热稳定性和抗氧化性的影响

• 作者: 伍一铭 吴正涛 王启民 莫锦君 许雨翔 钟星
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: AlCrSiN 占空比 硬度 热稳定性 抗氧化性
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 99-107
• 页数: 9页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20180620003

摘要

采用脉冲和直流电弧离子镀技术制备AlCrSiN涂层,研究占空比对涂层结构和性能的影响.采用扫描电镜观测涂层的生长形貌和化学成分,利用XRD分析涂层的相组成,结合光电子能谱技术分析涂层中元素化学键价,并通过纳米压痕法检测涂层的硬度和弹性模量.此外,对涂层进行真空退火和氧化处理,以评价涂层的高温结构和力学稳定性以及抗氧化性.结果表明:AlCrSiN涂层均为非晶Si3N4包裹纳米晶(Al,Cr)N的纳米复合结构;脉冲电弧沉积可以改善涂层的表面质量、提高组织致密性和硬度.占空比为1％时,AlCrSiN涂层具有最小的表面粗糙度(47 nm)和最高的硬度(31.5 GPa).AlCrSiN涂层具有良好的热稳定性,950℃退火后其硬度仍高于30 GPa.AlCrSiN涂层的抗氧化温度超过1000℃;占空比的增加涂层的抗氧化性略有提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟星	广东工业大学机电工程学院	9	50	4.0	7.0
2	王启民	广东工业大学机电工程学院	25	153	6.0	11.0
3	许雨翔	广东工业大学机电工程学院	4	4	2.0	2.0
4	伍一铭	广东工业大学机电工程学院	1	2	1.0	1.0
5	莫锦君	广东工业大学机电工程学院	2	3	1.0	1.0
6	吴正涛	广东工业大学机电工程学院	7	17	3.0	3.0