TiAlN/AlON纳米多层涂层组织及性能研究

• 作者: 刘峰斌 李喜朋 杨菲菲 阎红娟
• 来源期刊: 北京理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiAlN/AlON 共格外延生长 硬度 抗刮性 耐磨性
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 化工与材料
• 页码范围: 1296-1301
• 页数: 6页
• 分类号: TG174
• 字数: 3898字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15918/j.tbit 1001-0645.2018.12.014

摘要

研究AlON层厚度对TiAlN/AlON纳米多层涂层显微组织和性能影响.使用磁控溅射技术在高速工具钢(W6Mo5Gr4V2)上制备TiAlN/AlON纳米多层涂层,使用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计、通用表面测试仪表征和分析纳米多层涂层的组织和性能.结果表明:在TiAlN模板的作用下,非晶体的AlON转变为晶态,与TiAlN形成共格外延生长,使纳米多层涂层出现了超硬现象.当AlON层厚度为0.81 nm时涂层硬度最高,达到3 769.6HV,比TiAlN单层涂层显微硬度提高了60.37％;之后随着AlON层厚度增加,硬度下降.当AlON层厚度为0.81 nm时,涂层抗刮性和摩擦磨损性能也达到最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阎红娟	北方工业大学机械与材料工程学院	20	86	6.0	8.0
2	刘峰斌	北方工业大学机械与材料工程学院	40	64	5.0	6.0
3	李喜朋		3	13	2.0	3.0
4	杨菲菲	北方工业大学机械与材料工程学院	1	1	1.0	1.0