扫频调幅式真空镀膜电源设计与实现

• 作者: 余波 张松 蔡方凯 郭丽芳
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 镀膜电源 扫频调幅 谐振频率 功率因数
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 1003-1007
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.11.15

摘要

准确控制真空镀膜电源的输出功率,确保镀膜厚度一致是镀膜工艺的关键.本文针对现有中频感应加热电源采用移相控制存在的诸多问题,如调整开关频率会引起负载阻抗和相位的强烈变化,造成功率控制不准确、功率因数低、装置繁琐、单体设备无法级联等缺陷.提出了采用扫频调幅控制策略实现,并完成了实际产品的研制.结果表明,采用扫频调幅控制策略实现的真空镀膜电源具有效率高、功率精准控制、加热均匀等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张松	成都工业学院网络与通信工程学院	6	5	1.0	2.0
2	郭丽芳	成都工业学院网络与通信工程学院	7	7	2.0	2.0
3	蔡方凯	成都工业学院网络与通信工程学院	3	3	1.0	1.0
4	余波	成都工业学院网络与通信工程学院	3	2	1.0	1.0