外加圆弧保护装置在单晶硅生产中的应用

• 作者: 廉佳林 王成 董皓 辛玉龙
• 来源期刊: 山西化工
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 掉棒 圆弧保护装置
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 生产与应用
• 页码范围: 136-137
• 页数: 2页
• 分类号: TM615
• 字数: 1301字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2018.03.50

摘要

单晶硅棒在生产完毕后,出炉前的温度大约在200℃,由于高温的存在,晶棒在受到外界磕碰或其他异常时会掉落,造成严重的经济损失和人员伤害,使得晶棒卸取过程变得十分危险,在生产中采用活叶的保护框来对整个过程进行监护,避免掉棒产生的损失与人员伤害.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廉佳林		8	2	1.0	1.0
2	辛玉龙		7	2	1.0	1.0
3	董皓		5	0	0.0	0.0
4	王成		1	0	0.0	0.0