多晶硅产品质量的影响因素探讨

• 作者: 佟峰 潘锦
• 来源期刊: 当代化工研究
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 原料 设备 质量
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 技术应用与研究
• 页码范围: 108-109
• 页数: 2页
• 分类号: T
• 字数: 2763字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8114.2018.08.064

摘要

多晶硅产品质量取决于原料质量、设备状态、工艺方法多方面因素的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	佟峰		5	9	2.0	3.0
2	潘锦		4	6	2.0	2.0