电子束蒸镀法制备硫化镉薄膜光探测器

• 作者: 徐志勇 王敏 贾良鹏 陈红蕾
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束蒸镀 硫化镉薄膜 光探测 光响应
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 页码范围: 177-181
• 页数: 5页
• 分类号: TN3

摘要

采用电子束蒸镀法在SiO2/Si基底上蒸镀厚度为100 nm的硫化镉薄膜,然后利用掩膜版蒸镀电极,成功制备出了硫化镉薄膜光探测器。运用XRD、XPS和AFM对硫化镉薄膜进行了表征,结果表明所制备的薄膜具有非常好的致密性和良好的结晶性。光响应测试表明,所构筑的硫化镉薄膜光探测器光响应性能优异,在功率为1 mW/cm2,波长为365 nm紫外光照射下的响应度达到22 A/W,同时也其可重复性进行了验证。该工作表明电子束蒸镀法是一种有效制备薄膜光探测器的手段。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王敏		36	1373	11.0	36.0
2	陈红蕾		3	0	0.0	0.0
3	徐志勇		1	0	0.0	0.0
4	贾良鹏		1	0	0.0	0.0