40nm IC静态和动态ESD测试及失效分析

• 作者: 乔彦彬 张海峰 李杰伟 符荣杰 赵军伟 陈燕宁
• 来源期刊: 南京师范大学学报（工程技术版）
• 学科: 工学
• 关键词: 静电放电 静电保护 器件充放电模式 激光束电阻异常侦测
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 2019全国集成电路可靠性学术会议专栏
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: TN406
• 字数: 2651字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1292.2019.04.002

摘要

结合电网内使用电子器件面临的复杂电磁环境,介绍芯片在静态和动态下静电放电(electrostatic discharge,ESD)的防护能力测试,分析了ESD器件充放电模式(CDM)失效的现象和定位方法.针对40 nm LQFP64封装芯片,详细介绍ESD测试过程和失效判定分析过程,综合运用激光束电阻异常侦测、扫描电子显微镜等手段完成对失效位置的定位和失效点的精确分析.通过测试结果分析其失效机理,ESD保护电路中的晶体管,在电阻率下降、电流密度增加导致温度升高的正反馈作用下保护电路中的晶体管发生熔断,从而导致ESD保护电路失效.