硅微谐振式压力传感器闭环频率跟踪电路

• 作者: 徐枝蕃 胡海霖 许高斌 陈兴 马渊明
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式压力传感器 频率跟踪电路 锁相环 无相差
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-4,7
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2937字
• 语种: 中文

摘要

为了精确、快速测量静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器在受到外界压力后频率的变化,设计了一种基于锁相环的闭环频率跟踪电路.通过对输入信号进行放大、滤波和移相以满足闭环自激振荡条件,然后利用锁相环电路进行信号的无相差频率跟踪,最后将锁相环输出信号转换为满足传感器激励要求的正弦信号.该电路具有良好的频率稳定(频率误差<1 Hz)和跟踪性能,实现了在18～30 kHz范围内频率无相差锁定.