声表面波器件金属膜自动化剥离技术

• 作者: 彭华东
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波器件 高压剥离 化学液循环再利用
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 1-3,23
• 页数: 4页
• 分类号: TN605
• 字数: 1703字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.001

摘要

介绍了声表面波器件金属膜剥离工艺及自动化设备,包括设备用途、功能和结构组成,能完成厚度在0.20～1.00 mm具有基准边的100～150 mm标准圆片金属膜剥离、冲洗和甩干工艺.与传统的槽式批处理剥离清洗技术相比,可以提高产品成品率,避免交叉污染,确保器件规格(线条尺寸)、性能、可靠性等指标不会因剥离工艺(Lift off process)影响而劣化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭华东	中国电子科技集团公司第二十六研究所	5	23	1.0	4.0