钨与钒掺杂类金刚石薄膜的温度适应摩擦磨损机制研究

• 作者: 何帅 孙德恩 曾宪光 王建川
• 来源期刊: 化工新型材料
• 关键词: 钨、钒掺杂 DLC薄膜 温度适应 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 162-166
• 页数: 5页
• 语种: 中文

摘要

通过非平衡磁控溅射技术, 改变沉积工艺参数, 在不锈钢及单晶硅基体上制备未掺杂、钨 (W) 掺杂以及钒 (V) 掺杂类金刚石 (DLC) 薄膜.采用拉曼光谱, 纳米压痕法对薄膜结构和力学性能进行表征.在室温、250℃、500℃进行磨损实验, 研究其不同温度范围的摩擦磨损性能.研究结果表明:适量掺杂W元素, 可显著地提高W-DLC膜力学与摩擦性能, 在W靶电流为0.6A条件下, W-DLC膜具有最优的综合性能, 纳米硬度和弹性模量分别为11.11GPa和169.25GPa, 其中在250℃条件下摩擦系数低至0.044, 室温磨损率为1.27×10-7 mm3/Nm, 但W-DLC薄膜难以适应高温;适量掺杂V元素, 可以显著提高V-DLC膜的纳米硬度和弹性模量, 并能改善高温摩擦性能, 在V靶功率为1.2kW条件下, V-DLC薄膜的纳米硬度和弹性模量分别为37.36GPa和379.89GPa, 其中在500℃高温摩擦条件下, V-DLC薄膜的摩擦系数最低为0.35.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾宪光		59	427	10.0	18.0
2	何帅		1	0	0.0	0.0
3	孙德恩		1	0	0.0	0.0
4	王建川		1	0	0.0	0.0