溅射气体流量比对磷掺杂ZnO光学性质的影响

• 作者: 王显德 解玉鹏
• 来源期刊: 吉林化工学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 ZnO薄膜 p型 光学性质
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 79-82
• 页数: 4页
• 分类号: O474
• 字数: 2722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16039/j.cnki.cn22-1249.2019.01.017

摘要

采用磁控溅射方法在石英衬底上制备ZnO薄膜,利用XRD对薄膜结构进行表征,发光光谱和透射吸收光谱表征薄膜的光学性质,讨论了溅射气体流量比对薄膜光学性质的影响.结果表明,当Ar/O2为1/0.05时,观察到明显的紫外发光,带隙宽度为3.310 eV.