Fe掺杂对ZnO薄膜的微结构与光学性质的影响

• 作者: 徐林华 李相银 袁俊
• 来源期刊: 郑州大学学报(工学版)
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 微结构 光学性质
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 页码范围: 33-37
• 页数: 5页
• 分类号: TN204.2+1
• 字数: 4023字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6833.2008.04.008

摘要

采用溶胶一凝胶法在石英玻璃衬底上制备了Fe掺杂的ZnO薄膜,研究了不同的Fe掺杂浓度对ZnO薄膜的微结构与光学性质的影响.利用x射线衍射分析了薄膜样品的晶向和晶相.利用原子力显微镜观测了薄膜样品的表面形貌,利用双光束紫外-可见分光光度计分析了znO薄膜样品的光学性质.实验结果表明:所有ZnO薄膜样品都是六角纤锌矿结构,ZnO晶粒沿c轴择优生长.质量分数为1%fe掺入之后,ZnO薄膜的C轴择优取向进一步增强,薄膜的晶化质量也得到进一步提高.当Fe的掺杂浓度高于1%时,ZnO薄膜(002)衍射峰的强度又降低了,这可能是由于Fe2+(x=2或3)和zn2+具有不同的离子半径,大量的Fe2+进入晶格取代Zn2+导致晶格严重畸变,从而影响了znO晶粒的正常生长.所制备的ZnO薄膜在可见光区都具有高的透射丰,由吸收边估算出来的ZnO薄膜的光学带隙表明:随着Fe的掺杂浓度的提高,光学带隙逐渐展宽.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁俊	南京理工大学应用物理系	5	80	3.0	5.0
2	徐林华	南京理工大学应用物理系	7	40	4.0	6.0
3	李相银	南京理工大学应用物理系	49	243	9.0	11.0