离子束溅射技术制备高性能光通信带通滤光膜的研究

• 作者: 张于帅 张功 王丽荣 石澎
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 带通滤光膜 谐振腔 耦合层
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 136-139
• 页数: 4页
• 分类号: O484|TB79
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.02.08

摘要

光通信以其传输速率高、信息容量大、保密性能好、抗干扰能力强等优点,在通信领域得到了广泛应用,是未来信息网络的主要通信方式.光通信的信息载体是光波,为了进一步提高光通信系统中光信号的传输质量,满足光通信系统的使用要求,对高性能的带通滤光膜进行了研制.采用离子束溅射技术,以Ta2O5和SiO2作为镀膜材料,设计了含有12个谐振腔的带通滤光膜,分析并解决了耦合层膜厚监控的问题.制备的带通滤光膜在1528 ～ 1571 nm处插入损耗小于0.2 dB,1470～1521 nm和1578 ～1651 nm处透射隔离度大于40 dB,满足实际使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王丽荣		26	34	3.0	5.0
2	石澎		19	12	2.0	2.0
3	张于帅	长春理工大学光电工程学院	8	8	2.0	2.0
4	张功	长春理工大学光电工程学院	7	6	2.0	2.0