基底负偏压对CO2气相反应溅射制备C:TiO2薄膜性能的影响研究

• 作者: 丁春华 刘嘉琪 姜宏 岳天峰 文峰 马艳平
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频溅射 C掺杂TiO2薄膜 表面能 带隙宽度 光催化
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 88-94
• 页数: 7页
• 分类号: O430.15
• 字数: 5263字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.06.016

摘要

采用射频磁控溅射法,选择CO2气相提供反应溅射时的碳和氧源,通过改变基底负偏压制备得到系列C掺杂TiO2(C:TiO2)薄膜.紫外-可见分光光度计测定薄膜的透射率并用tauc作图法得到薄膜的带隙宽度,发现基底负偏压的增加有助于带隙宽度的窄化.拉曼光谱、X射线光电子能谱表征了C:TiO2薄膜的结构和成分及元素化学键合态,分析表明,C:TiO2薄膜主要为金红石相,C元素替代氧元素与Ti结合形成Ti—C键实现了C元素的掺杂.对甲基橙的光催化降解实验表明通过气相CO2制备得到的C:TiO2薄膜具有较好的光催化活性,且随着基底负偏压值的增加,C:TiO2薄膜对甲基橙的光催化降解效率会达到一个相对峰值后开始下降.测试了薄膜表面3种标准液体的接触角并分别计算了表面能各分量,结果发现,C:TiO2薄膜受到紫外光照射后表面能中路易斯酸性分量有显著增加,这将有利于促进电子-空穴的有效分离.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	文峰	海南大学材料科学与工程学院	13	108	4.0	10.0
3	姜宏	海南大学材料科学与工程学院	42	133	6.0	9.0
7	丁春华		2	0	0.0	0.0
8	岳天峰	海南大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
12	刘嘉琪	海南大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
15	马艳平		1	0	0.0	0.0