原子力显微镜系统FAIT-PI控制器设计

• 作者: 刘子瑜 尹耀庭 张胜 许红梅
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米测量 原子力显微镜 扫描成像 模糊自适应迭代控制
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 169-177
• 页数: 9页
• 分类号: TN98
• 语种: 中文
• DOI: 10.13382/j.jemi.B1902261

摘要

根据原子间相互力的作用通过原子力显微镜(AFM)可以获得纳米样品的三维形貌,为实现可靠的高精度AFM扫描成像必须对AFM系统进行精密控制.提出了一种模糊自适应闭环迭代学习算法来实现AFM系统中对样品形貌的动态精确跟踪,通过迭代学习获得的输入输出数据序列,采用最小二乘法拟合获得比例积分(PI)控制参数,利用整定后PI参数实现AFM系统扫描成像.实验结果表明,根据样品形貌整定的控制参数可以改善纳米样品的成像质量,进而提高纳米测量与操纵的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许红梅		6	3	1.0	1.0
2	张胜		1	0	0.0	0.0
3	尹耀庭		1	0	0.0	0.0
4	刘子瑜		1	0	0.0	0.0