单晶硅表面微结构的超精密车削成型技术

• 作者: 傅刚 喻甫军 廖路
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密车削 微结构 单晶硅
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 机械制造与应用
• 页码范围: 115-116,120
• 页数: 3页
• 分类号: TG51
• 字数: 1445字
• 语种: 中文

摘要

采用超精密切削加工方法进行单晶硅表面微结构制备,实验获得了一组优化的工艺参数,并在此基础上开展了不同类型微结构的超精密切削成形实验,分别获得了金字塔阵列、V形槽阵列和正弦波阵列等不同结构,证明了在单晶硅表面制备出微结构能够使得表面反射率大大降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖路	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	1	0	0.0	0.0
2	傅刚	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	1	0	0.0	0.0
3	喻甫军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	1	0	0.0	0.0