集成电路制造中废气处理措施

• 作者: 吕健
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 地球科学
• 关键词: 集成电路制造 废气处理 措施
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 21-22
• 页数: 2页
• 分类号: X831
• 字数: 2271字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2019.08.008

摘要

集成电路中产生的废气是比较多的,主要是由化学气相沉积和挥发性有机物两种,常用的处理措施有除害装置、 集中处理、 原料替代和减少用量等.就集成电路制造中废气处理措施进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕健		1	1	1.0	1.0