超高纯锗棒或锭的净杂质浓度检测方法

• 作者: 朱刘 牛晓东 赵青松 黄幸慰
• 来源期刊: 广州化工
• 学科: 工学
• 关键词: 超高纯锗 净杂质浓度 检测方法
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 分析测试
• 页码范围: 101-103
• 页数: 3页
• 分类号: TF89
• 字数: 2399字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9677.2019.11.037

摘要

介绍了一种检测超高纯锗棒或锭的净杂质浓度的新方法,采用直流两探针法,在77 K恒温下进行检测;两探针检测得到等间距电压降U,通过函数关系式计算得到电阻率p,再根据函数关系式|NA-ND|=1/(p×q×μ),计算得到探针笔间的锗棒或锭的平均净杂质浓度| NA-ND|.该方法可以检测锗棒或锭的整体杂质浓度,检测结果相对准确,检测效率高,有利于产业化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵青松		2	0	0.0	0.0
5	牛晓东		2	0	0.0	0.0
6	黄幸慰		2	0	0.0	0.0
7	朱刘		6	0	0.0	0.0