CVD金刚石涂层工具的水膜辅助脉冲激光加工技术研究

• 作者: 刘文超 赵清亮 郭兵
• 来源期刊: 精密制造与自动化
• 关键词: 水膜辅助脉冲激光加工 CVD金刚石涂层 激光加工理论 重铸层
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与开发
• 页码范围: 16-22
• 页数: 7页
• 字数: 2570字
• 语种: 中文

摘要

为了揭示水膜层在CVD金刚石涂层磨削工具脉冲激光加工过程中的重铸层抑制作用,基于皮秒脉冲激光加工实验,研究水膜辅助对激光加工重铸层的影响.并在此基础上,采用激光烧蚀实验与理论建模相结合的方法,研究水膜辅助激光功率和扫描速度等加工参数对烧蚀沟槽几何尺寸和形貌特征的影响规律,并验证激光加工理论模型的准确性.结果 表明,材料表面形成的水膜层能有效抑制脉冲激光加工重铸层的形成,加工后的材料表面与内部均未发现重铸物质.水膜辅助激光加工实验结果与单纯激光加工理论计算模型吻合度较高,说明水膜层能够有效消除由重铸层引起的激光烧蚀阻碍作用,从而提高激光加工效率.因此,水膜辅助脉冲激光加工技术为新型CVD金刚石涂层磨削工具提供了精密高效的加工方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵清亮	哈尔滨工业大学机电工程学院	74	849	16.0	24.0
2	郭兵	哈尔滨工业大学机电工程学院	18	207	9.0	14.0
3	刘文超	哈尔滨工业大学机电工程学院	7	6	1.0	2.0