衬底温度对Ga液滴在Al0.4Ga0.6As表面形成纳米结构的影响

• 作者: 丁召 张振东 李志宏 汤佳伟 王一 罗子江 郭祥 马明明 黄延彬
• 来源期刊: 原子与分子物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 液滴外延 纳米孔 盘状结构 Al0.4Ga0.6As 激活能
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 团簇与纳米结构
• 页码范围: 378-384
• 页数: 7页
• 分类号: O47
• 字数: 3759字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0364.2020.03.012

摘要

本文研究了不同衬底温度对Ga液滴在Al0.4Ga0.6As表面形成纳米结构的影响,当300℃≤T≤380℃时,Ga液滴演化成纳米孔(Nanohole)和盘状结构(diffusion halo),纳米结构的尺寸随温度升高而增大.当T≥385℃时,盘状结构消失,形成一定平坦的Alx Ga1-x As薄膜,Ga液滴在界面处继续向下刻蚀直至耗尽,形成平均直径为75 nm,平均孔深为5.52 nm的纳米孔.本文还通过盘状结构测出平均扩散长度△R,并拟合出Ga原子在Al0.4Ga0.6As表面的激活能EA=0.78(±0.01)eV和扩散前因子D0=0.15(×4.1±1)10-2 cm2s-1.