图案化蓝宝石衬底的制备方法及关键技术分析

• 作者: 仇凯弘 侯想 张江涛 胡中伟 赖志远
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 工学
• 关键词: 图案化蓝宝石衬底 氮化镓 掩膜 刻蚀
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 页码范围: 63-74
• 页数: 12页
• 分类号: TN3

摘要

图案化蓝宝石衬底(Patterned Sapphire Substrate,PSS)是近几年来发展起来的一种用于提高LED出光率的新技术。本文就图案化蓝宝石衬底提高GaN基LED出光率的作用原理、表面微结构(几何形状及尺寸)对LED发光效率的影响以及图案化衬底制备的关键技术进行了分析,包括掩膜的制备和图形的转移技术,以及蓝宝石图案化衬底制备的两种主要方法:干法刻蚀和湿法腐蚀,并比较了这两种制备方法的优缺点,最后指出纳米级图案化蓝宝石衬底是未来的重点发展方向。