沉积偏压对2024铝合金表面类金刚石薄膜结构及性能的影响

• 作者: 周艳文 王亚男 邓洪运 陈东旭
• 来源期刊: 辽宁科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 2024铝合金 类金刚石薄膜 耐磨性能 等离子体增强化学气相沉积 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 10-15
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 4248字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13988/j.ustl.2020.01.003

摘要

利用等离子体增强化学气相沉积技术,在2024铝合金表面制备类金刚石(DLC)薄膜,以改善铝合金表面机械性能.利用拉曼光谱及红外光谱,对不同沉积偏压下制备DLC薄膜的成分及结构进行表征;利用摩擦磨损试验机、纳米压痕仪及台阶仪等,分别对不同沉积偏压下制备DLC薄膜的耐磨性、硬度、弹性模量及薄膜厚度进行检测,并探讨了沉积偏压对薄膜结构及性能的影响规律及影响机制.研究表明:随着沉积偏压增大(1800～2600 V),薄膜厚度、硬度及弹性模量均先增大后减小.当沉积偏压为2400 V时,DLC薄膜厚度最厚,硬度及弹性模量最高.当沉积偏压为2600 V时,薄膜的H/(Ef)最高,并且摩擦系数从基体的0.492降低至0.0958.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亚男	辽宁科技大学材料与冶金学院	30	49	4.0	5.0
2	周艳文	辽宁科技大学材料与冶金学院	46	32	3.0	5.0
3	陈东旭	辽宁科技大学材料与冶金学院	11	5	2.0	2.0
4	邓洪运	辽宁科技大学材料与冶金学院	2	0	0.0	0.0