脉冲偏压对TiAlCN薄膜结构与力学性能的影响

• 作者: 任鑫 窦春岳 赵瑞山 齐鹏涛
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiAlCN薄膜 复合离子镀 脉冲偏压 结构 力学性能
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 材料表面改性
• 页码范围: 151-155
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.13289/j.issn.1009-6264.2019-0410

摘要

利用多弧离子镀-磁控溅射复合技术通过改变脉冲偏压在Si片与SS304基体表面制备了TiAlCN薄膜,研究了不同脉冲偏压对薄膜结构和力学性能的影响.薄膜成分、表面形貌、相结构及力学性能分别利用能量弥散X射线谱(EDS)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和纳米压痕仪等设备进行表征.结果 表明,随着脉冲负偏压的增加,薄膜中Ti元素的含量先减小后增大,而Al元素有相反的变化趋势.适当增大脉冲偏压,薄膜表面颗粒、凹坑等缺陷得到明显改善.物相分析表明TiAlCN薄膜主要由(Ti,Al)(C,N)相,Ti4N3-x相和Ti3Al相组成.薄膜平均硬度与弹性模量随脉冲负偏压的增加先增大后减小,在负偏压-200 V时达到最大值分别为36.8 GPa和410 GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任鑫	辽宁工程技术大学材料科学与工程学院	62	266	8.0	12.0
2	赵瑞山	辽宁工程技术大学材料科学与工程学院	14	25	3.0	4.0
3	窦春岳	辽宁工程技术大学材料科学与工程学院	4	3	1.0	1.0
4	齐鹏涛	辽宁工程技术大学材料科学与工程学院	3	4	1.0	2.0