电极间距对BeMgZnO薄膜光电探测器性能的影响

• 作者: 何云斌 卢寅梅 张腾 杨蓉慧子 汪洋 裴卫杰 陈剑 黎明锴
• 来源期刊: 湖北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 光电探测器 脉冲激光沉积 合金薄膜 BeMgZnO 电极间距
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 氧化物光电功能材料及器件研究专栏
• 页码范围: 253-258
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1|TB324.1
• 字数: 4093字
• 语种: 中文

摘要

通过脉冲激光沉积的方法在c面蓝宝石衬底上制备Be和Mg共掺的BeMgZnO四元合金薄膜.表征测试结果表明,所得薄膜为沿c轴外延生长、具有纤锌矿结构的高质量薄膜,其具有比纯ZnO明显更大的带隙(4.3 eV).在此薄膜表面分别蒸镀间距为10μm和100μm的平行Au电极,得到电极间距不同的两种BeMgZnO基光电探测器.通过I-V,I-t测试,系统研究电极间距对光电探测器性能的影响,结果表明:当BeMgZnO光电探测器的电极间距较小时(10μm),其暗电流更大,光电流更小,响应速度更快.这些信息可为高性能光电探测器的设计提供有益参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪洋	湖北大学材料科学与工程学院	7	25	3.0	5.0
2	黎明锴	湖北大学材料科学与工程学院	4	0	0.0	0.0
3	卢寅梅	湖北大学材料科学与工程学院	5	0	0.0	0.0
4	裴卫杰	湖北大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
5	杨蓉慧子	湖北大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
6	陈剑	湖北大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
7	张腾	湖北大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0