AlN薄膜制备与表征研究型实验设计

• 作者: 夏晓川 梁红伟 陶鹏程 黄火林
• 来源期刊: 实验科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝薄膜 研究型实验 实验教学 宽带隙半导体
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 118-122
• 页数: 5页
• 分类号: TM23
• 字数: 2497字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12179/1672-4550.20190282

摘要

将科研成果转化为研究型本科实验教学内容,设计了不同极性AlN薄膜的制备及表征综合实验.采用金属有机化学气相沉积方法制备混合极性、N极性和Al极性的AlN薄膜,研究了不同极性对AlN薄膜表面形貌和晶体质量的影响.研究结果表明,将渐变组分AlGaN极性调控层引入到GaN和AlN外延膜之间,AlN薄膜转变为单一Al极性生长,高分辩X射线衍射摇摆曲线(002)和(102)的半峰宽分别为375 arcsce和420 arcsce.该实验激发了学生对科学研究的兴趣,深入学习薄膜材料的制备及表征方法,培养了学生积极探索的创新实践能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏晓川	大连理工大学微电子学院	9	9	2.0	3.0
2	陶鹏程	大连理工大学光电工程与仪器科学学院	4	1	1.0	1.0
3	梁红伟	大连理工大学微电子学院	21	81	6.0	8.0
4	黄火林	大连理工大学光电工程与仪器科学学院	2	0	0.0	0.0