基于氧化铟纳米带的离子敏场效应晶体管的设计和实现

• 作者: 吴传健 杨敏 王轶卿
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铟纳米带 离子敏场效应晶体管 微量溶液 pH检测
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 465-469
• 页数: 5页
• 分类号: TN386.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2020.06.002

摘要

微量溶液pH值的检测在生物医学、食品质量监测以及环境监测等领域有着广泛的应用需求.本文设计了一种基于氧化铟(In2O3)纳米带的离子敏场效应晶体管,并将其用于微量溶液的pH值检测.采用In2O3纳米带为顶部沟道和硅衬底为底部沟道的双层沟道结构,有效提高了pH灵敏度.实验证明,该离子敏场效应晶体管在pH6到pH10范围内表现出良好的灵敏度,达到(74±5)mV/pH,超过常温下的能斯特极限59.2 mV/pH.并以急性心肌梗死标志物cTnI的检测为例,验证了该离子敏场效应晶体管可作为pH传感器用于生物标记物检浓度的检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨敏		16	144	7.0	12.0
2	王轶卿		16	135	7.0	11.0
3	吴传健		1	0	0.0	0.0