高产能微波等离子体平板式PECVD设备研制

• 作者: 唐电 张威 彭宜昌 杨彬 陈特超
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 平板式PECVD设备 钝化膜 微波 等离子体 反应室 太阳能电池
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 27-30,36
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.055
• 语种: 中文

摘要

介绍了该设备的工作原理及主要构成,详细阐述了大型等离子体处理腔室的真空系统设计,对真空泵的选型进行了探讨,得到了不同工艺条件下的真空泵抽气曲线,在此基础上,采用有限元分析软件对其腔室结构进行了优化分析,并给出了量产工艺数据.