激光对固态电解质金属氧化物薄膜晶体管性能的影响

• 作者: 杜世远 杨倩 边锐
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 固态电解质 金属氧化物薄膜晶体管 激光
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 所属期刊栏目: 器件物理及器件制备技术
• 页码范围: 1103-1109
• 页数: 7页
• 分类号: TN321+.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/YJYXS20203511.1103

摘要

基于固态电解质的金属氧化物薄膜晶体管具有良好的环境稳定性和优异的电学性能,因而具有巨大的应用潜力.针对传统基于固态电解质金属氧化物薄膜晶体管调控方式工艺复杂、制备时间长的问题,本文采用高k固态电解质Ta2O5作为栅绝缘层,透明氧化铟锡(ITO)作为有源层以及源漏电极,在沉积半导体层和电极之前,利用飞秒激光对Ta2O5绝缘层薄膜进行照射处理.探究了不同激光强度对固态电解质金属氧化物晶体管电学性能的影响.随着激光强度的提高,晶体管的开态电流提高,阈值电压负向漂移.同时,本文进一步探索了激光对固态电解质晶体管突触性能的影响,兴奋性后突触电流(EPSC)随着激光强度的增强而增加.XPS测试表明,Ta2O5薄膜中氧空位含量增多,从而导致器件电导的变化.本文利用激光优异的加工处理速度和对材料性能的精确控制,提出了一种简单、快速(＜1 s)、低温(＜45℃)地调控晶体管性能的方式.