循环沉积次数对Cu2ZnSnS4薄膜结构和性能的影响

• 作者: 华中 姜雨虹 孙亚明 王志群
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: Cu2ZnSnS4薄膜 磁控溅射 硫化 循环沉积次数
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 材料表面改性
• 页码范围: 175-180
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13289/j.issn.1009-6264.2020-0016

摘要

采用磁控溅射法沉积Cu/Sn/ZnS和Cu/Sn/ZnS/Cu/Sn/ZnS/Cu/Sn/ZnS两种沉积次数不同的预置层薄膜材料,结合后硫化热处理制备铜锌锡硫(Cu2ZnSnS4,CZTS)薄膜,研究了不同循环沉积次数对CZTS薄膜结构和性能的影响.利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、扫描电镜(SEM)和紫外-可见分光光度计(UV-VIS)等研究了薄膜的结构、表面形貌以及薄膜各组分含量和禁带宽度.结果 表明:沉积单个周期的Cu/Sn/ZnS预置层薄膜经550℃硫化后的薄膜为单相CZTS薄膜,化学组分接近理想化学计量比,表面颗粒致密且均匀,禁带宽度约为1.47 eV;沉积3个周期的Cu/Sn/ZnS/Cu/Sn/ZnS/Cu/Sn/ZnS预置层薄膜550℃硫化后的化学组分与理想化学计量比相差较远,表面颗粒不均匀.对于沉积时间较长的CZTS薄膜,单个周期沉积的薄膜相对3个周期沉积的薄膜更适合作为CZTS太阳能电池吸收层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	华中	吉林师范大学物理国家级实验教学示范中心	126	329	9.0	12.0
2	孙亚明	吉林师范大学物理国家级实验教学示范中心	30	28	3.0	4.0
3	姜雨虹	吉林师范大学物理国家级实验教学示范中心	10	15	3.0	3.0
4	王志群	国网内蒙古东部电力有限公司经济技术研究院	4	0	0.0	0.0