两种金刚石碳膜的制备及其场发射特性研究

• 作者: 张兵临 张洁 李成刚 高金海
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 纯平金刚石碳膜 球状金刚石聚晶颗粒碳膜
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 页码范围: 720-723
• 页数: 4页
• 分类号: TB383|O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2020.04.002

摘要

对相同的衬底进行不同的处理后,放入微薄等离子体腔中,在不同的条件下制备出纯平金刚石碳膜和球状金刚石聚晶颗粒碳膜.通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线分析碳膜的形貌与结构,利用场发射二级结构研究两种金刚石碳膜的场发射性能.简单分析了不同碳膜的成因和场发射性能.