硅微谐振式加速度计电路带宽测试方法研究

• 作者: 丁徐锴 张基强 李宏生 范书聪 黄丽斌
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微谐振式加速度计 电路带宽 激励信号 锁相环 解调
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: TP212|TH824
• 字数: 1551字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)08-0020-03

摘要

以自主研制的硅微谐振式加速度计(MSRA)为研究对象,针对其驱动电路的带宽测试,设计一种基于锁相环解调电路的带宽测试方案.针对锁相环驱动电路的相位传递函数建立SIMULINK仿真模型,并对闭环回路模型进行分析.在锁相环的输入端口加载由现场可编程门阵列(FPGA)产生的激励信号,等效为外界加速度频率变化下的锁相环输入信号,由基于锁相环的解调电路读出加速度计驱动电路的输出幅值,该带宽测试模型与MSRA实际测试情况一致.实验结果表明:MSRA锁相环驱动电路的实测+3 dB的带宽值为210 Hz,与模型仿真得到的216 Hz基本吻合.该测试方法具有精度高、易实施、成本低等特点,可满足锁相环驱动电路的带宽测试需求.