氧气氛环境对无氢类金刚石膜红外性能的影响

• 作者: 王赛 田方涛 程勇 米朝伟 蔡晓红 陆益敏 黄国俊
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 脉冲激光沉积 无氢类金刚石膜 氧气氛环境 红外性能 原子键
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与薄膜
• 页码范围: 182-187
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0403005

摘要

采用飞秒激光制备了无氢氧掺杂类金刚石膜,研究了环境气压对膜层红外性能的影响,并从掺杂含量、原子键、晶态结构等微观特性方面分析了膜层在含氧条件下的演变.研究发现:氧气氛环境可以提高无氢类金刚石膜中金刚石相的含量,有效降低类金刚石膜的红外吸收,从而增强其红外透射性能;膜层折射率可以由气氛环境自由调控,为多层光学膜的设计提供了匹配手段;氧气氛环境未改变类金刚石膜的非晶结构,不会妨害其红外性能.提出了碳膜在含氧条件下的原子键重组模型,丰富了氧掺杂类金刚石膜的研究,为提升类金刚石膜对红外窗口的增透保护提供了理论分析和实践依据.