基于D KNPE方法半导体蚀刻过程健康状态监视

• 作者: 张成 戴絮年 李元 郭青秀
• 来源期刊: 计算机应用研究
• 关键词: 邻域保持嵌入 K近邻 半导体蚀刻过程 健康状态监视 故障检测
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 系统应用开发
• 页码范围: 3038-3042
• 页数: 5页
• 分类号: TP277
• 语种: 中文
• DOI: 10.19734/j.issn.1001-3695.2019.06.0214

摘要

针对传统方法对非线性或多模态间歇过程的故障检测率低的问题,提出一种基于K近邻邻域保持嵌入得分差分(difference of K nearest neighbors score associated with neighborhood preserving embedding,DKNPE)的健康状态监视方法.首先,通过NPE方法计算训练数据集的得分矩阵,称其为样本的本质得分.然后,在训练数据集计算每个样本的K近邻均值,并将其投影到低维空间以获得样本的估计得分.接下来,在差分子空间(diffe-rence subspaces,DS)和差分残差子空间(difference residual subspaces,DRS)中分别建立两个新的统计量对样本进行过程监控.将本方法在两个模拟数值例子和半导体蚀刻过程中进行测试,并与PCA、FD-KNN和NPE等传统方法进行对比分析,测试结果验证了该方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张成		57	159	6.0	10.0
2	李元		122	550	12.0	18.0
3	郭青秀		9	7	2.0	2.0
4	戴絮年		3	0	0.0	0.0