LaTiO3/SiO2混合薄膜性能研究

• 作者: 刘妍 刘梦鸽 周思雨 唐江斌 成小小
• 来源期刊: 科技创新导报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 特性 光学
• 年，卷（期）: 2020,（18）
• 所属期刊栏目: 工业技术
• 页码范围: 73-74
• 页数: 2页
• 分类号: TB3
• 字数: 1385字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16660/j.cnki.1674-098X.2020.18.073

摘要

混合薄膜是改变薄膜的性能行之有效的方法.本文在衬底为K9基底上采用双源共蒸方式制备了LaTiO3/SiO2混合膜,并进行了薄膜折射率的测试研究.实验结果表明:沉积温度175℃,束流110mA,通氧量4sccm,阻蒸电流100mA沉积条件下制备的LaTiO3/SiO2混合膜折射率为正常色散,折射率在1064nm处为1.82,低于LaTiO3薄膜的1.91;波长在450～1600nm的消光系数小于10-4,混合薄膜具有较好的光学透明性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成小小		1	0	0.0	0.0
2	周思雨		1	0	0.0	0.0
3	唐江斌		1	0	0.0	0.0
4	刘妍		2	0	0.0	0.0
5	刘梦鸽		2	0	0.0	0.0